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4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

型號： AHY系列

  • 高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境

  • 電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性

  • 高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度

  • 采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制
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  • 高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境

  • 電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性

  • 高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度

  • 采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制

4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
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2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
●高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境●電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性●高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度●采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境電機直接驅動機器人運動，提升運行可靠性高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制
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