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4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

型號(hào)： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境

●電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性

●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）

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功能特性
技術(shù)參數(shù)
安裝尺寸
電氣連接
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●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境

●電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性

●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）

4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

2024 - 09 - 03

價(jià)格： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境●電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）

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4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

2024 - 09 - 03

價(jià)格： AHY系列

高可靠真空隔離，從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）

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4軸真空直驅(qū)雙臂R型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

2024 - 09 - 03

價(jià)格： AHY系列

高可靠真空隔離，從容應(yīng)對(duì)高真空環(huán)境電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)，提升運(yùn)行可靠性高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現(xiàn)高精度位置控制

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