? ? 眾為興機器人
? ? 全球工業(yè)機器人代表性品牌
? ? 中國運動控制解決方案提供商
? ? 國產SCARA頭部品牌
? ? 2017- 2019 年
? ? SCARA 機器人出貨量國產第一
? ? 2020- 2023 年
? ? SCARA 機器人出貨量全球第四
? ? SCARA業(yè)務咨詢
? ? 138 2884 5315?
? ? 運動控制業(yè)務咨詢
? ? 136 2095 7007
可根據設備布局定制臂長及Z軸行程
可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式
臂長：200/260/370/400mm? 負載：6/8/12寸wafer
支持mapping功能? 支持晶圓有無檢測
采用閉環(huán)伺服控制
晶圓固定方式：真空吸附
國產替代首選-產品可全面替代日本進口品牌
兼容8/12寸晶圓校準? 圓心校準精度：±0.1mm? 缺口校準精度：±0.1°
可根據設備布局定制底座和伸展軸行程
臂展: 250mm? 負載: 5晶圓? 搬運物: Φ100Φ300mm晶圓? 環(huán)境：大氣
采用閉環(huán)伺服控制，可根據設備布局定制臂長
臂展: 260mm? 負載: 3kg? 搬運物: 4-8寸晶圓片盒? 環(huán)境：大氣
末端執(zhí)行器類型：下托式
臂展: 520mm? 負載: 2kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環(huán)境: 真空
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