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? ? 2020- 2023 年

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TBA系列 晶圓機(jī)器人
TBA系列 晶圓機(jī)器人

國(guó)產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

采用閉環(huán)伺服控制

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程

可選配免電池絕對(duì)式編碼器

可選mapping傳感器類型：對(duì)射式、反射式

可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、 翻轉(zhuǎn)吸附式
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2024 - 09 - 03
價(jià)格： TBA
采用閉環(huán)伺服控制可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程可選配免電池絕對(duì)式編碼器可選mapping傳感器類型：對(duì)射式、反射式可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、 翻轉(zhuǎn)吸附式
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