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3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

型號(hào)： VA系列

  • 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程

  • 采用閉環(huán)伺服控制

  • 末端執(zhí)行器類型：下托式

  • 可選配免電池絕對(duì)式編碼器
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  • 采用閉環(huán)伺服控制

  • 末端執(zhí)行器類型：下托式

  • 可選配免電池絕對(duì)式編碼器

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2024 - 09 - 03
價(jià)格： VA系列
可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程采用閉環(huán)伺服控制末端執(zhí)行器類型：下托式可選配免電池絕對(duì)式編碼器
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